福建高純氮

  • 產品名稱: 福建高純氮
  • 產品分類: 高純氣
  • 化學名稱:
  • 分子式:
  • 包裝規格: 40升鋼瓶。
  • 添加時間: 18/06/27
產品詳情
詢盤

      高純氮:在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣,化學氣相淀積時的載氣,液體擴散源的攜帶氣,在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發等工序中,作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術中,液氫加注系統必須先用高純氮置換,再用高純氦置換。

技術指標:執行國家標準 GB/T3634.2-2011

序號

指標名稱

技術要求

1

氮氣(N2)純度,10-2

≥99.999

2

氧(O2)含量體積分數,10-6

≤3

3

水分(H2O)含量(體積分數,10-6

≤3

4

氬(AR)含量(體積分數),10-6

5

一氧化碳(CO)含量(體積分數),10-6

≤1

 6

二氧化碳(CO2)含量(體積分數),10-6

≤1

7

甲烷(CH4)含量(體積分數),10-6

≤4

8

氫氣(H2)含量(體積分數),10-6

≤10




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